特性 密封 功能 固定用陶瓷 微观结构 多晶 规格尺寸 ¢0.5~¢60(mm) 性能 Performance 单位符号 Unit sign 氮化硅 Si3N4 密度density g/cm3 3.2 硬度vickers Kg/mm 1500-1800 抗弯强度bending strength Mpa 200 抗压强度 Compressive strength Mpa 1400 断裂韧性 Fracture toughness Mpa·m1/2 2.5 较高使用温度 Max Use Temperature ℃ 800 弹性模量elastic modulus Gpa 300-320 热胀系数coeffient of thermal expansion X10-6/k 3.2 泊松比poissom ratio 0.26 热导率(500℃) Thermal Conductivity W/mk, 18 比电阻率(600℃) resistance Ω·mm2/m 1012 耐酸碱腐蚀性能 - 强